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石英坩堝目前的制造商生產技術已經相對成熟

編輯:連云港蘇創石英制品有限公司時間:2022-03-17

石英坩堝具有純度高、耐溫性強、尺寸精度高、保溫性好、節能、質量穩定等優點。石英坩堝的檢測是一個非常重要的環節,石英坩堝的檢測正朝著現場檢測的方向發展!

1.石英坩堝可在1450度以下使用,分為透明和不透明。電弧法制的半透明石英坩堝是開發大型集成電路的基本材料。如今,世界半導體工業發達已經用這種坩堝取代了小型透明石英坩堝。它具有純度高、耐溫性強、尺寸精度高、保溫性好、節能、質量穩定等優點。

2.不能接觸HF,高溫時容易與苛性堿和堿金屬碳酸鹽作用。

3.石英坩堝適用于K2S2O7、KHSO4和Na2S207(首先在212度干燥)。

4.石英脆易破,使用時要注意。

5.除HF外,普通稀無機酸可用作清洗液。18英寸和20英寸22英寸的石英坩堝也被制造商使用。目前,國內大型坩堝制造商生產的坩堝技術相對成熟。原料石英砂從美國進口,挪威高純石英砂。一些小型工廠使用國內原料生產的石英坩堝,對單晶硅的穩定性有一定的影響。

目前,坩堝生產涂層技術已被大多數制造商使用,即在普通石英砂溶解的坩堝表面涂一層二氧化鋇溶液,形成致密層,可防止硅與石英坩堝在單晶硅高溫拉伸過程中發生反應,提高晶體率。


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